Спектрометр Thermo Fisher Scientific Theta Probe

THETA PROBE –прорыв в области анализа поверхности и различных покрытий методами электронной спектроскопии. Позволяет проводить количественный и качественный анализ поверхности различных материалов и исследование сверхтонких плёнок.

Особенности

• Прибор обладает уникальной функцией построения карт распределения химических элементов по поверхности, карт толщин покрытий, распределения примесей и т.д.
• Уникальная методика РФЭС с угловым разрешением (PARXPS) позволяет проводить широкий спектр неразрушающих исследований на неподвижном образце (определение последовательности слоёв, распылительное профилирование, анализ толщины скрытых слоёв, анализ однородности толщины, состава слоев и концентрации элементов в них и т.д.)
• Система является уникальной в своём роде, и при иcпользовании запатентованной методики PARXPS разрешение по глубине при неразрушающем профилировании составляет <0.1 нм

Области применения

• Атомная промышленность
• Микроэлектроника
• Наука
• Материаловедение
• Анализ покрытий 

В базовой комплектации прибор включает

• Полусферический анализатор с двойной фокусировкой
• Многоэлементную систему вводных линз RADIAN для спектроскопии
• Многоканальный двумерный детектор для спектроскопии и PARXPS

Микрофокусный монохроматический источник рентгеновского излучения

• Монохроматор 250 мм (круг Роуланда)
• Микрофокусная электронная пушка и многопозиционный алюминиевый анод
• Термостатированная система управления кристаллом и манипуляторы
• Минимальный размер пятна - от 15 мкм

Комбинированная ионно-электронная пушка для зарядовой нейтрализации

• Нейтрализация заряда
• Функция электростатического отклонения для точной настройки
• Источник низкоэнергетических электронов

Ионная пушка

• Очистка поверхности образца, распылительное профилирование
• Дифференциальная откачка

Наблюдение за образцом

• Окно с защитой от рентгеновского излучения 
• Микроскоп для оптимизации положения образца с CCD камерой