Рентгено-электронный спектрометр ULVAC-PHI Quantera II
Превосходные характеристики для микро-области
PHI Quantera II ‒ это устройство для рентгено-электронной спектроскопии, которое позволяет создавать микрофокусированный рентгеновский луч для растрового сканирования диаметром 7,5 мкм. В дополнение к превосходным характеристикам для микро-области, PHI Quantera II позволяет производить высокоточный автоматический анализ и профилирование по глубине.
Рентгено-электронная спектроскопия микро- и обширных областей
ULVAC-PHI успешно повышает качество запатентованного монохроматического, микрофокусированного, сканирующего рентгеновского источника, который является основным элементом в PHI Quantera II. Улучшение качества монохроматического кристалла позволило уменьшить размер рентгеновского луча до 7,5 мкм в диаметре. Чувствительность в микро-области рентгено-электронной спектроскопии также повысилась на 20%.
PHI Quantera II также может выполнять средний, пространственный, линейный и многоточечный анализ больших областей с высокой разрешающей способностью, используя как высокоскоростную рентгено-электронную спектроскопию, так и сопоставление динамического эмиттанса.
Двухлучевая нейтрализация заряда
Рентгено-электронная спектроскопия используется в элементном анализе для широкого диапазона образцов ‒ от проводников до диэлектриков. Однако возврат нейтрализации заряда при анализе диэлектриков был трудной задачей для пользователя.
В PHI Quantera II используется запатентованная технология двухлучевой нейтрализации заряда одновременно с использованием электронного пучка с низкой энергией и ионного пучка, позволяя тем самым автоматизировать анализ диэлектриков. Использование данной технологии также упростило проведение автоматической выверки по высоте.
Химическая визуализация
PHI Quantera II оснащается высокоэффективной входной линзой и 32-канальным детектором, используемыми для достижения высокой чувствительности спектра, необходимой для качественного и количественного анализа микро-области. Это позволит одновременно получать и визуализировать несканированный спектр высокой чувствительности. Программное обеспечение для преобразования данных MultiPak обладает множеством инструментов для обработки данных, в том числе линейный подбор методом наименьших квадратов и вычерчивание кривой по точкам.
Визуализация вторичных электронов
SXI изображение представляет собой визуализацию вторичных электронов, возбуждаемых микро-фокусированным источником рентгеновских лучей, принятых анализатором. Использование рентгеновских лучей для анализа позволяет точно и быстро определить область анализа.
Камера с высоким разрешением
Снимки высокого разрешения встроенной камеры позволяют определить анализируемую точку. Функция цифрового масштабирования обеспечивает точное и быстрое перемещение.
Опциональная установка для позиционирования образца
Установка для позиционирования образца представляет собой цифровое XY координатное устройство с оптическим микроскопом. Данная установка позволяет ориентировать анализируемую точку с помощью изображения оптического микроскопа относительно цифровых координат XY.
