Рентгено-электронный спектрометр ULVAC-PHI PHI Quantes

Спектрометр PHI Quantes оснащен двойным сканирующим источником рентгеновского излучения, состоящего из источника жёсткого рентгеновского излучения (Cr Kα) и обычного мягкого рентгеновского излучения (Al Kα), которые имеют разные значения энергии.

Этот ультрасовременный инструмент обладает возможностью анализировать как очень маленькую, так и большую площадь однородной поверхности образца. Переключение между двумя различными типами источников рентгеновского излучения может происходить автоматически, что позволяет пользователям анализировать одну и ту же область и/или точки образца. PHI Quantesспроектирован на базе устройства PHI Quantera II, поэтому обладает такими функциональными возможностями, как автоматический анализ, автоматический перенос проб, нейтрализация заряда и усовершенствованная обработка данных.

PHI Quantes ‒ это инструмент для рентгено-электронной спектроскопии, предназначенный для создания новых методов и применений. 

Двойной сканирующий монохроматический источник рентгеновского излучения

Оснащённый двойным сканирующим рентгеновским источником, состоящим из монохроматических Cr Kα (5,4 кэВ) и Al Kα (1,5 кэВ), PHI Quantes способен визуализировать вторичные электроны (SXI) путем сканирования рентгеновского луча над образцом, что позволяет точно определять области и/или точки для анализа. Улучшенное ПО SmartSoft-XPS позволяет контролировать позицию анода и движение механического затвора, что позволяет быстро переключаться между Cr Kα и Al Kα. Переключение не требует корректировок, что дает возможность легко измерять одни и те же области или точки как с Cr Kα, так и с Al Kα. 

Двухлучевой источник для легкого измерения одной точки

Программный контроль анода с рентгеновским излучением позволяет быстро переключаться между Cr Kα и Al Kα. Переключение не требует никаких настроек, что позволяет легко измерять одно и то же место как с Cr Kα, так и с Al Kα.

Нейтрализация заряда

В устройстве используется новая запатентованная технология нейтрализации заряда, которая позволяет автоматически компенсировать заряд заряженной поверхности образца, которая  доступна на PHI Quantes и в других устройствах серии PHI XPS, а также при использовании Cr Kα.

Режим автоматического анализа

Полностью автоматизированная процедура анализа может быть легко запрограммирована, даже если для этого потребуется несколько дней. Два стандартных положения установочных положения в аналитической камере позволяют полностью автоматизировать измерение всех образцов (максимум три), установленных на устройстве. Кроме того, самая современная технология нейтрализации заряда также позволяет полностью автоматизировать анализ изолированных образцов. 

Проверенный высоковольтный анализатор

Проверенный высоковольтный анализатор вместе с недавно разработанной входной линзой c высокой прозрачностью обеспечивают превосходную чувствительность даже при использовании Cr Kα. Высококачественный 32-канальный многоканальный детектор позволяет получать снимки до 128 каналов в чередующемся режиме.   

Расширение возможностей использования благодаря двум рентгеновским лучам с различной энергией

Ниже приведен пример информации из подложки Si, полученной через пленки ПММА различной толщины, исследованные с использованием Al Kα и Cr Kα.

Информационная глубина с использованием Cr Kα примерно в три раза больше, чем с Al Kα.

Отличительные характеристики PHI Quantes

Обработка данных результатов Cr Kα может быть выполнена таким же образом, как и при обычной рентгено-электронной спектроскопии с использованием программного обеспечения для анализа PHI MultiPak.

Программное обеспечение MultiPak также содержит базу данных о положениях фотоэлектронного пика (PeakID) и коэффициентах относительной чувствительности (RSF) элементов, которые совместимы с Cr Kα. С помощью базы данных RSF для Cr Kα можно выполнять количественные оценки также  и с Al Kα.

Спектры, полученные Al Kα и Cr Kα, могут обрабатываться одновременно на ПО MultiPak, что позволяет проводить простое сравнение и другую обработку данных с результатами, полученными от другого источника рентгеновского излучения.