Рентгенотелевизионная система microme|x

Система microme|x предназначена для проведения неразрушающего рентгеновского контроля с высоким разрешением в реальном времени, а также для автоматизированной рентгеновской инспекции.
Прецизионный манипулятор, 180 кВ рентгеновская трубка, термостабилизированный детектор позволяют использовать данные установки для широчайшего спектра 2D и 3D инспекционных задач: проведение НИОКР, анализ дефектов, контроль качества, автоматизированная инспекция печатных плат, микросхем, BGA-компонентов, переходных отверстий.

Системы microme|x могут оснащаться функцией компьютерной томографии. Программное обеспечение позволяет добиться 100 % обнаружения дефектов. Использование высококонтрастного цифрового детектора DXR250RT (30 кадров в секунду) с активным охлаждением дает возможность получать 2D рентгеновские снимки высочайшего качества.

Применение

• Автоматизированная рентгеновская инспекция печатных плат
  
• Контроль качества пайки компонентов
  
• Контроль разварки кристаллов
  
• Обнаружение трещин в проводниках с размером <1 мкм
  
• Контроль пустот
  
• Контроль BGA-компонентов
  

Особенности

• Мощная микро-/нанофокусная трубка открытого типа 180 кВ/20 Вт, обеспечивающая различимость деталей вплоть до 500 нм
  
• Высококонтрастный цифровой детектор с активным охлаждением
  
• Прецизионный манипулятор
  
• Возможность установки опции томографии
  
• Рентгеновская инспекция в реальном времени

Технические характеристики

Параметр	Значение
Основная рентгеновская трубка
Максимальное напряжение, кВ	180
Максимальная мощность, Вт	20
Различимость деталей, мкм	≤ 0,5
Конструкция	Открытая, с прострельной мишенью
Детектор
Физическое разрешение детектора, Пикс	1024×1024
Быстродействие	30 кадр/сек
Параметры исследуемого образца
Максимальные размеры (диаметр х высота), мм	680×635 (2D) 60×60 (томография)
Максимальный вес образца, кг	10 (2D) 2 (томография)
Манипулятор	5 степеней свободы: Образец x, y, z, r Детектор: наклон
Габариты установки
Ш х Г х В, мм	1860×2020×1920
Вес, кг	2600
Особенности
2D-инспекция	В реальном времени
Автоматизированная рентгеновская инспекция	Да
Возможность работы по CAD-данным	Да
Томография	1. В конусном пучке; 2. Планарная томография