Установка контроля герметичности для поточных производств УКГ-4П
При изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем различных типов немаловажным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий процент выхода годной продукции. Одним из этапов технологического процесса изготовления является масс-спектрометрический контроль герметичности. Для решения этих задач предлагаем варианты технологического оборудования масс-спектрометрического контроля герметичности, адаптированного под задачи производства, позволяющее более эффективно применять метод контроля с минимизацией издержек в обслуживании, временных затрат при эксплуатации.
Установка УКГ-4П предназначена для контроля герметичности изделий полупроводниковой, радиотехнической, электротехнической и других отраслей промышленности.
контроля каждого пенала выводится на встроенный компьютер и отображается на цветном экране с сенсорным вводом. Стартом продолжения контроля последующего пенала является закрытие крышки загружаемого пенала. Отличительной особенностью установки является возможность управлять производительностью и чувствительностью.
УКГ-4П представляет собой технологическое оборудование, состоящее из 4 (по согласованию и более) вакуумных камер, высоковакуумного безмасляного поста и масс-спектрометрической части с собственной высоковакуумной откачкой, смонтированных в едином конструктиве в виде моноблока.
Установка позволяет проводить контроль герметичности несколькими способами:
- способ вакуумной камеры
- способ обдува
Оператором программно может быть задействовано в работе нужное количество пеналов. Информация о работе установки и результат
Производительность установки
- в высокочувствительном режиме - более 360 испытаний в час - чувствительность режима 1х10^-11 м^3Па/с.
- повышенная производительность - более 700 испытаний в час - чувствительность режима 5х10^-10 м^3Па/с.
Пеналы снабжены световой индикацией, при превышении установленного браковочного признака раздается звуковой сигнал.
Особенности
- Чувствительность масс-спектрометрической ячейки - 5х10^-13 м^3Па/сек
- Возможность управления производительностью и чувствительностью
- Темп работы (производительность) задается оператором
- Автоматизация процессов
- Настраиваемые алгоритмы ПО под конкретные задачи
- Возможность изготовления пеналов любого размера по согласованию
- Режим "пауза"
- Отсутствие кинематики (движущихся механических частей)
- Моноблочная вакуумная система
- Отсутствие необходимости в смазке
- Комбинация без масляных откачных агрегатов
- Эргономика ориентирована на работу оператора сидя
- Габаритные размеры 1100х1140х90 см
- Вес установки от 110 кг
- Потребляемая мощность 1,5 кВт
