Конструкция датчика: миниатюрный датчик полностью состоит из металлических компонентов, в основном это нержавеющая сталь 304. Две нити накаливания имеют напыление иридия и индивидуальную поддержку для обеспечения однородного выхода и низкой погрешности в условиях перепада температур. Нити, покрытые иридием способны противостоять резкому перепаду давлений и имеют высокую устойчивостью к сбоям, невозможную при другом материале исполнения. При нормальном режиме работы срок службы нити около 10 000 часов. Точный ионный коллектор имеет диметр 0,1 мм, что уменьшает рентгеновское излучение датчика.
Диапазон измерений: MP3DR может быть использован для измерения давлений от 1х10-2 до 1х10-10 Торр.
Регулирование уровня эмиссии: пользователь MP3DR может самостоятельно выбирать уровень тока эмиссии или работать в режиме «авто эмиссии», который самостоятельно выбирает необходимый ток эмиссии для каждого диапазона давлений.
Дегазация датчика: MP3DR позволяет проводить дегазацию датчика, используя метод электронной бомбардировки. Пользователь может выбирать продолжительность дегазации – о т 10 секунд до 5 минут. вакуумный датчик_25-8.png
Дисплей: вакуумметр имеет светодиодный дисплей, с четырьмя сине-зелеными цифрами. Во время настройки дисплей используется для отображения настройки тока эмиссии, настроек дегазации, настройки реле, и К фактора. Во время работы дополнительные светодиодные датчики отображают режимы работы.
Реле: имеет две настраиваемые и независимые точки срабатывания. Сигнал реле можно снять на 15 пиновом D-sub разъеме.
Цифровой выход: все вакуумметры MP3DR имеют цифровой выход RS232/485, позволяющий пользователю автоматизировать работу и снятие показаний системы. Все стандартные параметры работы, такие как давление, реле, ионный ток, работа нити, настройка эмиссии и статус процесса дегазации передаются на компьютер с помощью 6-пинового модульного соединителя. Все параметры, которые вручную настраиваются на панели вакуумметра, также могут контролироваться посредством цифровой передачи.
Достоинства и преимущества
Показания: широкий диапазон измерений от 10-2 до 10-10 Торр.
Высокая эффективность: имеет двойную, покрытую и поддерживаемую нить накаливания для продления срока службы. Имеет низкий лимит рентгеновского излучения при давлении < 10-10 Торр. Выбор нити накаливания осуществляется нажатием кнопки на панели управления вакуумметра.
Работа при сверхвысоком вакууме: имеет фланцы стандарта CF и обеспечивает надежную работу без утечек при сверхвысоком вакууме, поток натеканий менее 10-11 ст. см3/сек (He).
Прогреваемый датчик: возможность обезгаживающего прогрева датчика до 2000С (со снятым блоком электроники)
Дисплей отображения: имеет яркий четырехзначный светодиодный дисплей.
Ток эмиссии: настраиваемый.
Время дегазации: настраиваемое.
Реле: две точки срабатывания для контроля вакуумной системы.
Цифровой выход: RS232/485.
Рабочее напряжение: 11,5 – 30В постоянного тока.
Применение
- Исследовательское оборудование
- Криогенная техника
- Электронные микроскопы
- Физика высоких энергий
- Производство осветительного оборудования
- Производство магнитных носителей
- Молекулярно лучевая эпитаксия
- Оптическое и функциональное напыление
- Осаждение из паровой фазы
- Производство полупроводниковых устройств
- Анализ поверхностей
- Термическая обработка (вакуумные печи)
- Напыление тонких пленок
|
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
MP3DR
|
|
Рабочие характеристики
|
|
|
Диапазон давлений
|
1х10-2 до 1х10-10 Торр
|
|
Чувствительность по N2
|
10/Торр
|
|
Мощность дегазации
|
5 Ватт, электронный пучок
|
|
Температура прогрева (только для датчика)
|
200°C
|
|
Рабочая температура
|
От 0 до 40 °C
|
|
Предел рентгеновского излучения
|
меньше 1х10-10 Торр
|
|
Ток эмиссии нити
|
0,01; 0,1; 1,0 мА или автоматически настраиваемый
|
|
Напряжение смещения на нити
|
+30 Вольт +/- 0.3%
|
|
Потенциал решетки
|
+180 Вольт +/- 0.3%
|
|
Напряжение нагрева нити
|
1,5 Вольт (2,5 В Макс.)
|
|
Ток нагрева нити
|
2 А (3 А Макс.)
|
|
Положение при монтаже
|
Любое
|
|
Систем управления
|
|
|
Входящее напряжение
|
11,5 -30,0 В DC, 750 мА
|
|
Дисплей
|
Высококонтрастный, сине-зеленое
|
|
Реле
|
Две точки срабатывания
|
|
Цифровой выход
|
RS232/485
|
|
Тип соединения
|
15 штырьковый D-sub
|
|
Цифровой порт
|
Двойной, 6 штырьковый модульный
|
|
Физические характеристики
|
|
|
Высота
|
131 мм
|
|
Диаметр
|
75 мм
|
|
Веc
|
0,55 кг (при KF25 )
|
|
Условия эксплуатации
|
|
|
Расположение
|
В помещении, на высоте до 2000 м над уровнем моря
|
|
Температура окружающей среды
|
От 0 до 40°C
|
|
Относительная влажность
|
80% относительной влажности при 31°C
|
|
ИНФОРМАЦИЯ ДЛЯ ЗАКАЗА
|
ШИФР ИЗДЕЛИЯ
|
|
MP3DR вакуумметр, KF25
|
2-7990-131
|
|
MP3DR вакуумметр, CF40
|
2-7990-152
|
|
MP3DR вакуумметр, 1'' с трубка
|
2-7990-101
|
|
Датчик (отдельно), KF25
|
3451-8305-35
|
|
Датчик (отдельно), CF40
|
3451-8305-25
|
|
Датчик (отдельно), 1'' трубка
|
3452-8306-05
|
|
Цифровой кабель, 2.1 м, RJ11
|
9855-07
|
|
Кабель питания и передачи сигнала, 3 м., 15 штырьковый D-sub
|
2-9867-010
|
|
Кабель питания и передачи сигнала, 6 м., 15 штырьковый D-sub
|
2-9867-020
|
|
Кабель питания и передачи сигнала, 10,5 м., 15 штырьковый D-sub
|
2-9867-035
|
|
Кабель питания и передачи сигнала, 15 м., 15 штырьковый D-sub
|
2-9867-050
|