Газоанализатор RIKEN KEIKI GD-70D
GD-70D – стационарный газоанализатор со встроенным ЖК-экраном и насосом для измерения широкого спектра токсичных газов, используемых при производстве полупроводников. Прибор оснащен выходом 4-20 мА для передачи сигнала на РСУ или ПЛК, а также встроенным веб-сервером для удаленного мониторинга и обслуживания газоанализатора.
Особенности
- Взрывонепроницаемый корпус
- Единая платформа (основной блок/датчик/насос) для всех типов датчиков
- Интеллектуальные датчики
- Большой ЖК-экран со шкалой
- Интерфейсы 4-20 мА, NT, PoE - на выбор
- Встроенный веб-сервер для удаленного мониторинга
- Функция самодиагностики
- Простота установки и обслуживания
- Широкий перечень измеряемых газов
Технические характеристики
| Модель | GD-70D | ||||
| Измеряемый газ | Токсичные газы | ||||
| Принцип измерений |
Электро-хими-ческий (ESU) |
Полу-проводнико-вый (SGU) |
Пиролизный (SSU) |
Гальвани-ческий (OSU) |
Керами-ческий (NGU) |
| Диапазон измерений | Зависит от измеряемого газа | ||||
| Пороги сигнализации | Зависит от измеряемого газа | ||||
| Погрешность | ±5% показания или ±2%LEL | ||||
| Время установления показаний | Т90 = 30 с | ||||
| Метод отбора | Принудительный, 0,5 л/мин | ||||
| Экран | ЖКД с цифровой индикацией концентрации, наименования газа, расхода, статуса соединения, статуса пиролизатора и неисправностей | ||||
| Выход | 4-20 мА | ||||
| Интерфейс | PoE (IEEE802.3af) | ||||
| Макс.расстояние передачи сигнала | 1,25 км. (кабель CVVS 1,25 мм2) | ||||
| Источник питания | DC 24В | ||||
| Рабочая температура | 0°C - +40°C, влажность от 30% до 70% без конденсации | ||||
| Габариты и вес | 70 x 120 x 150 мм, 0,9 кг. | ||||
| Гарантия | 12 месяцев | ||||
Список измеряемых газов
| Газ | Химическая формула | Диапазон измерения |
| Аммиак | NH3 | 0 - 75 ppm |
| Арсин | AsH3 | 0 - 0,2 ppm |
| Бромоводород | HBr | 0 - 6 ppm |
| Водород | H2 | 0 - 2000 ppm |
| Гексафторид вольфрама | WF6 | 0 - 9 ppm |
| Гексафторид молибдена | MoF6 | 0 - 9 ppm |
| Гексахлорид вольфрама | WCl6 | 0 - 15 ppm |
| Диборан | B2H6 | 0 - 0,3 ppm |
| Дихлорсилан | SiH2Cl2 | 0 - 15 ppm |
| Иодоводород | HI | 0 - 5 ppm |
| Озон | O3 | 0 - 0,6 ppm |
| Оксид азота | NO | 0 - 100 ppm |
| Оксид углерода | CO | 0 - 300 ppm |
| Оксихлорид фосфора | POCl3 | 0 - 15 ppm |
| Пентафторид мышьяка | AsF5 | 0 - 9 ppm |
| Пентафторид фосфора | PF5 | 0 - 9 ppm |
| Пентахлорид молибдена | MoCl5 | 0 - 15 ppm |
| Пентахлорид мышьяка | AsCl5 | 0 - 15 ppm |
| Пентахлорид сурьмы | SbCl5 | 0 - 15 ppm |
| Пентахлорид фосфора | PCl5 | 0 - 15 ppm |
| Силан | SiH4 | 0 - 15 ppm |
| Тетрафторид кремния | SiF4 | 0 - 9 ppm |
| Тетрафторид серы | SF4 | 0 - 9 ppm |
| Тетрахлорид германия | GeCl4 | 0 - 15 ppm |
| Тетрахлорид кремния | SiCl4 | 0 - 15 ppm |
| Тетрахлорид олова | SnCl4 | 0 - 15 ppm |
| Трибромид бора | BBr3 | 0 - 6 ppm |
| Трифторид азота | NF3 | 0 - 30 ppm |
| Трифторид бора | BF3 | 0 - 9 ppm |
| Трифторид мышьяка | AsF3 | 0 - 9 ppm |
| Трифторид хлора | ClF3 | 0 - 0,6 ppm |
| Трихлорид бора | BCl3 | 0 - 15 ppm |
| Трихлорид мышьяка | AsCl3 | 0 - 15 ppm |
| Трихлорид фосфора | PCl3 | 0 - 10 ppm |
| Трихлорсилан | SiHCl3 | 0 - 15 ppm |
| Фосфин | PH3 | 0 - 1 ppm |
| Фтор | F2 | 0 - 3 ppm |
| Фтороводород | HF | 0 - 9 ppm |
| Хлор | Cl2 | 0 - 1,5 ppm |
| Хлороводород | HCl | 0 - 15 ppm |
