Интерференционную картину можно наблюдать как в белом, так и в монохроматическом свете и фотографировать на пленку фотокамерой, входящей в состав прибора.
Микроинтерферометр позволяет производить измерения с помощью винтового окулярного микрометра МОВ или фотоэлектрического окулярного микрометра ФОМ с автоматической обработкой результатов измерений.
Использование микроинтерферометра в сочетании с фотоэлектрическим окулярным микрометром позволяет повысить точность измерения параметров шероховатости в 2 раза и производительность процесса измерения в 10-15 раз, значительно сократить утомляемость оператора.
Микроинтерферометр применяется в машиностроительной промышленности и в лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами исследования качества поверхностей.